2024年起 光學及X射線量測設備進入規模量產
2024年3月 啟用5300平米量產空間，在深圳合計建成7300平米研發及生產基地
2023年1月 光學及X射線量測設備實現商用
2022年2月 X射線薄膜量測設備AX-T100原型機完成
2021年12月 光學膜厚設備HY-100原型機完成
2021年12月 建成超過1000平米具有十級、百級、千級標準的潔凈間
2021年7月 完成TXRF和GIXRF技術驗證
2021年5月 完成光學反射式薄膜技術驗證
2021年3月 完成光學橢偏薄膜技術驗證
2020年10月 深圳市埃芯半導體科技有限公司成立
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